Томограф для исследований nanotom m – наноКТ система, применяемая в научной и промышленной томографии и 3D метрологии для небольших образцов с низким коэффициентом поглощения. В ней применяется охлаждаемая нанофокусная рентгеновская трубка и температурно стаблизированный цифровой детектор высокого разрешения (7МПикс, размер пикселя 100 мкм). Данная комбинация обеспечивает субмикронное пространственное разрешение.
№ |
Параметр |
Значение |
Основная рентгеновская трубка |
||
1 |
Максимальное напряжение, кВ |
180 |
2 |
Максимальная мощность, Вт |
20 |
3 |
Различимость деталей, мкм |
< 0.2 |
4 |
Конструкция |
Открытая, с прострельной мишенью |
Дополнительная рентгеновская трубка |
||
5 |
Максимальное напряжение, кВ |
Дополнительная трубка не устанавливается |
6 |
Максимальная мощность, Вт |
|
7 |
Конструкция |
|
8 |
Различимость деталей, мкм |
|
Разрешение системы |
||
9 |
Физическое разрешение детектора, МПикс |
7 |
10 |
Максимальное разрешение системы, МПикс. |
10,5 |
11 |
Размер вокселя, мкм |
< 300 нм |
Параметры исследуемого образца |
||
12 |
Максимальные размеры (высотаХдиаметр), мм |
240/250 |
13 |
Максимальный вес образца, кг |
3 |
Гарабиты установки |
||
14 |
ШхГхВ, мм |
1980х1600 х900 |
15 |
Вес, кг |
1900 |
Особенности |
||
16 |
Манипулятор |
5-ть степеней свободы: Образец - y, z, r; Детектор - z, x. Гранитное основание |
17 |
2D инспекция |
Ограниченная |
18 |
Метрология |
Полноценная |
19 |
Линейный детектор |
- |