Описание:

150/200-мм система для оптического контроля и анализа фронтальной и тыльной сторон пластины. Наиболее подходит для использования с технологиями МЭМС
 

Основные возможности:

• Усовершенствованный инструмент для оптического осмотра и анализа пластин 150/200 мм с двумя кассетами.
• Подходит для стандартных и других механических интерфейсов.
• Доступны конфигурации системы для работы только с фронтальной или с фронтальной/тыльной сторонами.
• Встроенный модуль переворачивания пластин обеспечивает высокую производительность.
• Возможность работы с пластинами в вакуумном захвате или в захвате по бокам.
• Вакуумный держатель для пластин сочетает в себе доступную цену с высокой производительностью и универсальностью.
• Манипуляции с пластинами, в том числе предварительное совмещение, производятся в захвате по бокам, чтобы минимизировать постороннее воздействие на тыльную сторону устройства.
• Функция сортировки с возможностью переворачивания на тыльную сторону.
• Новейший оптический микроскоп фирмы Carl Zeiss поддерживает все стандартные методы контрастирования, в том числе конфокальную и ультрафиолетовую микроскопию.
• Макро-осмотр с равномерным полем освещенности и возможностью осмотра пластины в темном поле. Обнаруженные дефекты документируются.
• Доступны различные виды измерений, в том числе контроль отклонения от заданных параметров и измерение толщины пленки.
• Единая программная платформа для всех систем и модификаций.