Системы MOCVD обладают способностью осаждения слоев требуемого состава на подходящую подложку со ступенчатой структурой (что достигается с помощью программного обеспечения линейным увеличением необходимых процессов). Точное управление процессом обеспечивает создание слоев MOCVD с резкими границами или отдельных слоев со ступенчатой структурой.
Системы MOCVD производства CVD Equipment Corporation отвечают технологическим требованиям заказчика и характеризуются гибкостью и низкой эксплуатационной стоимостью. Системы обеспечивают осаждение веществ класса II-VI и III-V.
Доступна обработка одиночных подложек или группы подложек. Система разработана для обработки подложек с размером, определяемым пользователем. Распылительная головка с регулировкой температуры дозирует точное количество прекурсора и газов, при одновременном вращении подложки при осаждении, обеспечивая превосходную однородность напыления.
Система, работающая под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.
Установка отвечает строгим современным стандартам техники безопасности и может безопасно работать с самовоспламеняющимися на воздухе и токсичными химикатами. Опция камеры загрузочного шлюза предотвращает загрязнение воздухом рабочей камеры при загрузке/разгрузке подложек. Система оснащена протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в программное обеспечение CVDWinPrC™.
Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.
Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.