Описание:

Взяв за основу свой более чем 20-и летний опыт создания систем травления ионным пучком на базе ВЧ-технологии компания Nordiko разработала и выпустила на рынок установку серии Nordiko α120. Процессный модуль представляет собой изолированную вакуумную камеру с передней полнооткрываемой дверью, на камере смонтирован источник ионного потока с большой апертурой, внутри камеры манипулятор для подложек. Источник ионов может быть использован для генерации ионов аргона при ускоряющем напряжении от 100 до 600 В. Манипулятор подложек водоохлаждаемый с функцией осевого вращения подложек и возможностью изменения угла его наклона по отношению к ионному пучку.

Особенности:

• Компактная система
• Конфигурация изменяется легко под требования заказчика
• Ионный источник 15, 20, 25 см
• Нейтрализатор без накального катода
• Манипулятор гибко конфигурируется
• Высокопроизводительный сухой вакуумный насос

Опции:

• Криогенная откачка
• Травление с применением реактивного газа (RIBE, CAIBE)
• Определение точки окончания процесса травления по анализу вторичных ионов SIMS
• Вакуумная загрузочная камера
• Полная автоматизация